मायक्रो- आणि नॅनोफॅब्रिकेशन

या कुळात निवड कशी करायची

• चिपसाठी मूळ पदार्थ बनवायचा आहे? सिलिकॉनचे स्फटिक चॉक्राल्स्की पद्धतीने वाढवतात, आणि सर्वात बारीक स्फटिक थर MBE ने.
• लाखो एकसारखी सपाट उपकरणे कोरायची आहेत: फोटोलिथोग्राफी; काही अणूंइतक्या जाडीच्या फिल्म चढवायच्या आहेत: ALD.
• एका सूक्ष्म जागेची दुरुस्ती, कटिंग किंवा तपासणी: फोकस्ड आयन बीम; धातू किंवा काचेत सूक्ष्म रचना घडवायच्या आहेत: फेम्टोसेकंड लेसर.
• सरळ भिंती असलेले उंच धातूचे सूक्ष्म भाग: LIGA; खऱ्या 3D सूक्ष्म आकृत्या: टू-फोटॉन पॉलिमरायझेशन.
• बारीक तंतूंचे मोठे जाळीदार थर, स्वस्तात: इलेक्ट्रोस्पिनिंग.

मुख्य शब्द

मायक्रॉन (µm)

मिलिमीटरचा हजारावा भाग; केस सुमारे ७० µm रुंद असतो.

नॅनोमीटर (nm)

मायक्रॉनचा हजारावा भाग; शेजारी शेजारी ठेवलेले काही अणू.

वेफर

स्फटिकाची पातळ, पॉलिश केलेली तबकडी, सहसा सिलिकॉनची, जिच्यावर चिप बनवल्या जातात.

रेझिस्ट

प्रकाश, क्ष-किरण किंवा इलेक्ट्रॉनमुळे रासायनिक बदल होणारा थर, जो स्टेन्सिलसारखा वापरतात.

क्लीनरूम

अतिशय गाळलेली हवा असलेली खोली, जी जवळजवळ धुळीमुक्त ठेवली जाते.

व्हॅक्यूम चेंबर

हवा उपसून रिकामा केलेला बंद डबा, ज्यात अणू आणि किरणपुंज मोकळेपणाने फिरतात.

MEMS

मायक्रो-इलेक्ट्रो-मेकॅनिकल सिस्टीम, चिपवर बनवलेली सूक्ष्म यंत्रे आणि सेन्सर.

व्हॉक्सेल

3D पिक्सेल; एखादी प्रक्रिया एका वेळी घडवू शकते असा सर्वात लहान घनफळाचा भाग.