マイクロ・ナノ加工

このファミリー内での選び方

• チップの基板材料をつくりたいなら？ シリコン結晶はチョクラルスキー法で育て、最も精細な結晶層は MBE でつくります。
• 同じ平面デバイスを数百万個、パターニングする： フォトリソグラフィ。数原子の厚さの膜を付ける：ALD。
• ごく小さな 1 か所を修理、切断、検査する： 集束イオンビーム。金属やガラスのマイクロフィーチャーを加工する：フェムト秒レーザー。
• 壁がまっすぐな、背の高い金属のマイクロ部品： LIGA。本物の 3D マイクロ形状：二光子重合。
• 細い繊維のウェブを、広い面積で安価につくる： エレクトロスピニング。

キーワード

ミクロン（µm）

1 mm の千分の 1。髪の毛の幅は約 70 µm です。

ナノメートル（nm）

1 ミクロンの千分の 1。数個の原子が並んだ程度。

ウェハー

結晶、通常はシリコンの、研磨された薄い円板。その上にチップがつくられます。

レジスト

光、X 線、電子で化学変化を起こす被膜で、ステンシルとして使われます。

クリーンルーム

空気を厳重に濾過して、塵をほとんどなくした部屋。

真空チャンバー

空気を抜いた密閉容器で、原子やビームが自由に進めます。

MEMS

微小電気機械システム。チップ上につくられる小さな機械やセンサー。

ボクセル

3D のピクセル。工程が一度に形成できる最小の体積。