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レッスン 13.8マイクロ・ナノ第 13 章 · マイクロ・ナノ加工

二光子重合

レーザーの焦点でだけ樹脂を硬化させ、3D のマイクロ部品をプリントする

二光子重合は、生きた細胞ほどの大きさで行う 3D プリントです。集光したレーザーは焦点でだけ液状の樹脂を硬化させるので、その焦点を動かすと、1 ミクロン(0.001 mm)未満のディテールをもつ物体を描けます。光ファイバーの先端にマイクロレンズをプリントしたり、細胞を育てる足場をつくったりできます。

二光子重合:実際の写真
写真:Spanholz, CC BY-SA 4.0, 提供: Wikimedia Commons
樹脂はレーザーの焦点だけで硬化するので、焦点で 3D に描ける二光子重合 · 側面図、縮尺は正確ではないフェムト秒レーザー近赤外パルススキャナー焦点を動かす対物レンズ2液状の樹脂ガラススライド1描画中の部品4焦点が動く3D で3焦点だけが硬化焦点のスポットを拡大暗すぎる:液体のまま焼入れ済みボクセル2 つの光子が同時に吸収される5液体を洗い流す自立したマイクロ部品液状の樹脂硬化した部品機械の部品レーザー光
二光子重合 · プリンターの側面図、焦点の拡大、完成した部品丸数字は下の手順に対応しています。右側のパネルは焦点を拡大し、完成した部品を示します。

しくみ

  1. 樹脂を 1 滴のせる。 液状のフォトレジン(光で硬化するプラスチック)を 1 滴、ガラススライドの上、またはファイバーの先端やチップの上に直接のせます。

  2. レーザーを集光する。 近赤外光(赤より少し外側の、目に見えない光)のフェムト秒パルスが、顕微鏡の対物レンズ(高性能なレンズ)を通ります。光は樹脂の内部の 1 点に集まります。

  3. 焦点だけを硬化させる。 光が十分に強いのは焦点だけで、そこでは分子が 2 つの光子(光の粒子)を同時に吸収できます。これで、1 ミクロン前後かそれ以下のボクセル(3D のピクセル)が硬化します。

  4. 3D で描く。 ミラーとステージが、CAD モデルをスライスした経路に沿って焦点を動かし、点ごと、層ごとに描いていきます。部品は液体の中で成長し、サポート構造が不要なことも多いです。

  5. 液体を洗い流す。 溶剤で未硬化の樹脂を洗い流すと、固体のマイクロ部品が現れます。繊細な部品は、液体の表面張力で曲がらないよう、慎重に乾燥させます。

主なポイント

材料
フォトレジン:アクリレート、SU-8 などのエポキシ、有機–ガラスのハイブリッド樹脂。生体適合性やガラス化する樹脂もあります
代表的な部品
マイクロレンズと光学部品、細胞の足場、マイクロ流体フィルター、格子状のメタマテリアル、世界最小クラスの彫刻
部品サイズ
約 0.1 µm のディテールから。部品全体では、通常はマイクロメートルから数ミリメートル
精度
サブミクロンのディテール。研究用のシステムでは、約 100 nm かそれ以下に達します
表面仕上げ
光学部品に使えるほどなめらか。細かい積層の段差は電子顕微鏡で見えます
向いているロット数
試作品と少量生産。複製を成形するためのマスターにも
金型・設備コスト
金型は不要。プリンターは数十万ドルすることが多い
速度
遅い:数ミリメートルの部品でも数時間かかることがある

強みと限界

強み

  • サブミクロン解像度の、真の自由形状 3D
  • マスクも金型も不要:CAD からそのまま部品へ
  • ファイバー、チップ、流路の内部にもプリントできる
  • なめらかで、光学品質の表面も可能

限界

  • 数ミリメートルを超えると非常に遅い
  • 造形体積が小さく、プリンターが高価
  • 光硬化性の樹脂に限られる
  • 収縮で部品が歪むため、設計で補正しないといけない

使われる場所

  • フォトニクスファイバー先端のマイクロレンズ、導波路、回折光学素子
  • ライフサイエンス細胞や幹細胞研究のための足場、マイクロニードル
  • マイクロ流体流路の内部にプリントした 3D フィルターやミキサー
  • MEMS とセンサーマイクロばね、マイクログリッパー、原子間力顕微鏡の探針
  • 材料研究機械的メタマテリアル(特殊な性質をもつ格子構造)、ナノ格子
  • アートと啓発マイクロ彫刻と、世界最小クラスの造形物

見分け方

  • 実物を目にすることはまずありません。部品は砂粒より小さく、研究室、光学部品の試作、研究用デバイスの中にあります。
  • 顕微鏡で見ると、小さな 3D プリントのように、細かい階段状の積層の跡をもつ、完璧な形の 3D 物体です。
  • 金型では取り出せない、オーバーハング、格子、閉じた中空の形。
  • 光ファイバーの切断面にそのまま載っているレンズや構造。

比較

動画を見る

g Fun Facts online · 原理を短くシンプルに解説

scientificblogging · 砂粒より小さなレーシングカーのプリント

Nanoscribe · プリントされたマイクロ部品と、電子顕微鏡によるクローズアップ

UpNano · 市販のプリンターと、その部品のつくり方

実写真を見る

覚えておこう

  • 樹脂が硬化するのは、2 つの光子が同時に届く場所、つまりレーザーの焦点だけです。
  • その焦点を動かすと、サブミクロンのディテールをもつ本物の 3D 形状を描けます。
  • 遅く、小さな規模向けです。マイクロ光学部品、足場、試作に最適です。

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