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第 13.8 课微纳第 13 章 · 微纳制造

双光子聚合

只在激光焦点处固化树脂,打印 3D 微型零件

双光子聚合是细胞尺度的 3D 打印。聚焦的激光只在焦点处固化液态树脂,所以移动焦点就能绘制出细节小于一微米(0.001 mm)的物体。它能在光纤端面上打印微透镜,也能打印用于培养细胞的支架。

双光子聚合:实拍照片
照片:Spanholz, CC BY-SA 4.0, 来源: Wikimedia Commons
树脂只在激光焦点处硬化,所以焦点可以绘制 3D 形状双光子聚合 · 侧视图,不按比例飞秒激光近红外脉冲扫描器移动焦点物镜2液态树脂载玻片1正在书写的零件4焦点移动三维3只有焦点处硬化放大焦点处太暗:保持液态已淬硬体素同时吸收两个光子5洗去液体独立的微型零件液态树脂硬化后的零件机床零件激光
双光子聚合 · 打印机侧视图、焦点放大图和成品圆圈数字与下方步骤对应;右侧各图放大焦点并展示成品。

工作原理

  1. 滴一滴树脂。 一滴液态光敏树脂(一种遇光固化的塑料)滴在玻璃片上,或直接滴在光纤端面或芯片上。

  2. 聚焦激光。 近红外光(略超出红光,人眼看不见)的飞秒脉冲穿过显微物镜(一种高倍透镜),在树脂内部汇聚成一点。

  3. 只固化焦点。 只有在焦点处,光才强到足以让分子同时吸收两个光子(光的粒子)。这会固化一个体素:约一微米或更小的 3D 像素。

  4. 在三维中书写。 反射镜和位移台让焦点沿着从 CAD 模型切片得到的路径移动,逐点、逐层进行。零件在液体中生长,通常不需要支撑结构。

  5. 洗去液体。 溶剂冲走未固化的树脂,露出固态的微型零件。精细零件要小心干燥,以免液体表面张力把它们弄弯。

关键数据

材料
光敏树脂:丙烯酸酯、环氧树脂如 SU-8、有机-玻璃混合树脂;部分生物相容或可成玻璃的树脂
典型零件
微透镜和光学元件、细胞支架、微流控过滤器、晶格超材料、创纪录的微小雕塑
零件尺寸
特征尺寸约从 0.1 µm 起;整个零件通常为几微米到几毫米
精度
亚微米级细节;研究型系统可达约 100 nm 或更小的特征
表面质量
光滑到足以用于光学;在电子显微镜下可见细小的层阶
适合的批量
原型和小批量;也可作为翻模复制件的母模
模具与设备成本
无需模具;打印机往往要几十万美元
速度
很慢:一个几毫米大的零件可能要花几个小时

优点与局限

优点

  • 亚微米分辨率的真正自由形态 3D 打印
  • 无需掩模或模具:从 CAD 直接到零件
  • 可直接打印在光纤、芯片上和通道内部
  • 可以获得光滑的光学级表面

局限

  • 超过几毫米的东西就会非常慢
  • 成型体积小,打印机昂贵
  • 仅限于光固化树脂
  • 收缩会使零件变形,除非设计时做了补偿

应用领域

  • 光子学光纤端面上的微透镜、波导、衍射光学元件
  • 生命科学细胞培养和干细胞研究用的支架、微针
  • 微流控在通道内部打印的 3D 过滤器和混合器
  • MEMS 与传感器微型弹簧、微型夹爪、原子力显微镜的探针针尖
  • 材料研究机械超材料(具有特殊性能的点阵结构)、纳米点阵
  • 艺术与科普微型雕塑和创纪录的微小物体

如何识别

  • 您几乎不会遇到:这些零件比一粒沙子还小,存在于实验室、原型光学元件和研究设备中。
  • 在显微镜下:形状完美的 3D 物体,带有细小的阶梯状层纹,像一件微型 3D 打印品。
  • 悬垂结构、点阵和封闭的中空形状,这些是任何模具都无法脱模的。
  • 一个透镜或结构,直接位于光纤的切断端面上。

对比

观看

g Fun Facts online · 对原理的简短易懂的讲解

scientificblogging · 正在打印的、比一粒沙子还小的赛车

Nanoscribe · 打印出的微型零件和电子显微镜特写

UpNano · 一台商用打印机及其零部件的构造

查看实拍照片

记住

  • 树脂只在两个光子同时到达的地方固化:即激光的焦点处。
  • 移动这个焦点,就能画出具有亚微米细节的真正 3D 形状。
  • 它很慢,且尺度很小:非常适合微光学元件、支架和原型。

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