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化学加工与光化学蚀刻

光印的掩膜让蚀刻液只溶解裸露的金属

化学加工通过溶解来去除金属,同时用掩膜保护想保留的区域。它最常见的形式是光化学蚀刻,用光来印出掩膜,很像冲洗照片。电动剃须刀网膜、手机扬声器网罩和微小的电子触点都是这样制成的。

化学加工与光化学蚀刻:实拍照片
照片:Adam Greig, CC BY-SA 2.0, 来源: Wikimedia Commons
光印出掩模;蚀刻剂只溶解裸露的金属薄板的光化学蚀刻四个阶段,以剖面显示(厚度被夸大)清洁、涂覆并曝光紫外光底片光刻胶金属板薄膜的暗区挡住光显影硬化的光刻胶裸金属未曝光的光刻胶被洗掉从两面蚀刻蚀刻剂喷雾金属溶解两侧在中间相遇去除光刻胶无毛刺的边缘小凸脊成品零件:无毛刺,无热影响123456金属板光刻胶、底片和机床零件紫外光蚀刻剂喷雾
光化学蚀刻 · 四个阶段的截面图从左到右、先上排再下排阅读四幅图;带圈数字与下方步骤对应。

工作原理

  1. 清洁。 金属板经过脱脂和除氧化,使掩膜牢固附着。

  2. 涂膜。 两面都贴上光刻胶(一种感光塑料膜)。

  3. 曝光。 板材夹在两张底片(印有零件形状的胶片)之间,用紫外光照射。光线让胶片透明处的光刻胶硬化。

  4. 显影。 冲洗掉光没有照到的光刻胶,在要切割的位置留下裸露金属的窗口。

  5. 蚀刻。 板材在两面都喷有温热蚀刻液(一种腐蚀性溶液,常为三氯化铁)的喷淋下通过。金属从上下两面溶解,直到两边相遇并穿透。

  6. 去膜。 去掉剩余的光刻胶并冲洗板材。然后把几十个成品零件从连接小片上掰下来。

化学铣削是它的“大兄弟”:大型航空航天壁板先涂一层保护胶(橡胶状的保护涂层),再手工划开保护层,然后把整块壁板浸入槽中,使选定区域减薄。

关键数据

材料
几乎任何金属:不锈钢、铜、黄铜、镍、铝、钛、镍合金,不论硬度
典型零件
带有精细细节的扁平薄件:网、滤网、垫片、扁簧、引线框架、模板;化学铣:飞机蒙皮上的减薄凹槽
零件尺寸
板材厚度通常约 0.01–2 mm;零件从几毫米宽到整张板大小;化学铣削的壁板可长达数米
精度
通常约为板厚的 ±10%;最小的孔径大致与板厚相当
表面质量
板材保持原有的表面;切边光滑无毛刺,在厚度中间有一道轻微的凸脊
适合的批量
从几天完成的样品到数百万件;成本取决于板材数量,而不是零件复杂度
模具与设备成本
工装成本很低:一张底片几百美元;蚀刻线和化学品处理才是真正的投入
速度
蚀刻通常每分钟从每面去除百分之几毫米;薄板几分钟就能通过

优点与局限

优点

  • 没有毛刺、没有热量、金属内没有应力
  • 硬度无关紧要
  • 工装便宜,几小时就能更换
  • 复杂度不额外收费:10 个孔和 10,000 个孔成本相同

局限

  • 只能做薄板,通常不超过约 2 mm
  • 孔不能比板厚小太多
  • 边缘不是完全垂直:有轻微的侧蚀和凸脊
  • 腐蚀性化学品需要小心处理和废液处理

应用领域

  • 电子引线框架、屏蔽罩、触点、锡膏钢网
  • 航空航天化学铣削的机身和机翼蒙皮、垫片、滤网
  • 汽车与能源燃料电池极板、电池栅网、传感器、热交换器板
  • 医疗手术刀片、植入网、滤网
  • 消费品剃须刀网膜、扬声器网罩、手表零件、装饰板
  • 爱好与珠宝模型套件细节件、蚀刻首饰、铭牌

如何识别

  • 一个非常薄的金属件,带有极其细小的孔或图案。
  • 切边光滑无毛刺;放大镜下,沿厚度中间有一道轻微的凸脊。
  • 轮廓周围有细小的连接片痕迹,零件原先就是靠它们固定在板上。
  • 铭牌和模型零件上,字母或标志被蚀刻到板厚的一半(半蚀刻)。

对比

观看

Precision Micro · 工艺的每一步,都讲解得很清楚

United Western Enterprises Inc. · 参观一家真实的光蚀刻工厂

NW Etch · 涂膜、曝光和蚀刻的生产现场镜头

Advanced Chemical Etching Ltd · 工厂里一条完整的蚀刻生产线

查看实拍照片

记住

  • 光印的掩膜决定蚀刻液在哪里溶解金属。
  • 它适合带有精细复杂图案的薄板,不留毛刺,也没有热损伤。
  • 要看极细的孔、无毛刺的边缘和厚度中间的轻微凸脊。

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